超純水：既將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值。
超純水,是一般工藝很難達到的程度，采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理四大步驟，多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達18.25MΩ*cm .
超純水處理設備，采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級紫外殺 菌處理等方法，將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。超純水的電阻率可大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值。
超純水處理設備又稱做：超純水機，超純水設備，超純水儀，超純水系統，實驗室超純水器等。
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