自來水中TOC水平大約為 4000ppb. 通過反滲透能去除 90-95% 的污染物。也就是說反滲透水的TOC水平一般可達到200-400ppb. 連續電去離子(EDI)可以進一步把超純水處理設備的TOC 水平降到30-50ppb.
超純水處理設備用特殊的離子交換樹脂去除有機污染物，使TOC水平下降到5-10ppb. 然而，像LC-MS方面的應用要求更低的TOC水平，因而需要使用另一種水純化技術——UV光氧化技術。在QYYJ與QYZH型超純水器中增加的是254/185nm的雙波長紫外燈，具有殺菌功能，可以氧化有機物，從而降低有機物的含量。
UV燈密封在管內的低壓汞在電流作用下激發出發射相關波長所需的能量。主要發射波長254nm,185nm，還有少量的194nm。該紫外燈使用特殊的超純石英，具有高度反光性能的不銹鋼外殼和為外燈正常使用而設計的高性能鎮流器。
普通的玻璃能吸收所有的紫外波長，也就是沒有任何波長的UV能夠通過。使用超純石英罩的低壓汞蒸汽燈能讓光線穿透到水中。254nm能夠在水中很好地傳播因為水不吸收這個波長，但是水吸收185波長的UV光。另外，如顆粒，有機物(腐殖酸)會攔阻或吸收UV光。因此，UV技術可以用于水的清潔和預處理超純水處理設備。
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